2月3日消息，近日，以麻省理工学院为首的研究团队在《自然》（nature）杂志上宣布，团队开发出全彩垂直堆叠结构Micro LED，阵列密度高达5100 PPI，尺寸仅为4μm，号称是目前所知拥有最高阵列密度和最小尺寸的Micro LED。
图片来源：nature杂志
据介绍，为了实现高分辨率和微小尺寸的Micro LED，研究人员采用了基于二维材料的层转移（2D materials based layer transfer (2DLT)）技术。
该技术允许通过远程外延（remote epitaxy）或范德华（van der Waals epitaxy）外延生长、机械释放和堆叠LED等制作工序，在二维材料涂层衬底上生长近亚微米厚度的RGB LED。
研究人员特别指出，仅有9μm的堆叠结构高度是打造高阵列密度Micro LED的关键。
研究团队还在论文中展示了蓝光Micro LED与硅膜晶体管的垂直集成，适配于AM主动矩阵式驱动应用。研究团队表示，本次研究为制造AR/VR用全彩Micro LED显示器提供了新路线，同时也为更广泛的三维集成设备提供了通用平台。
