具有160×65μm2 MiniLED亚像素芯片尺寸的In发光二极管(LED)。蓝色MiniLED与红色和绿色量子点结合，实现了单片芯片形式的全彩和高质量的Mini LED阵列。随后，采用50◦℃下原子层沉积(ALD)低温钝化，有效避免光氧化，保持颜色纯度，99.5%的国家电视标准委员会(NTSC)和89.6%的89.6%的颜色纯度。2020年在50◦C/50%相对湿度(RH)条件下的300h可靠性测试中的红色和绿色QD(GQD)的色域。这两种样品的环境稳定性L50分别为6761和5889h。最后，我们提倡将已演示的高度稳定的全彩 QD MiniLED应用于显示技术中的潜力。本研究也满足了一种简单的QD沉积方法的要求，有望取得突破。
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索引术语——全色发光二极管、低温原子层沉积(ALD)、量子点(QD)、可靠性。I.介绍量子点是一种纳米级的发光材料，在现代技术中有着广泛的应用。量子点（也被称为半导体纳米晶体）表现出独特的电子和光学特性，不同于大块半导体材料的特性。量子点具有离散的电子态，类似于自然原子，而且它们的电子波函数有点类似于实原子的电子态。因此，它们通常被称为人工原子[1]，[2]。量子点被用于各种技术，如太阳能电池[3]-[5]、光电探测器[6]、光晶体[7]、场效应晶体管[8]、生物系统[9]、[10]和发光二极管(LED)[11]-[14]。 量子点在光电器件中的应用越来越受欢迎，因为量子点便于纳入各种类型和尺寸的光电器件。 量子点在光电器件中的众多应用之一是它们作为传统荧光粉材料的替代品量子点在光电器件中的应用越来越受欢迎，因为量子点便于纳入各种类型和尺寸的光电器件。 量子点在光电器件中的众多应用之一是它们作为LED中常规荧光粉材料的替代品。 光泵QD-LED已被证明既适合一般照明和显示应用，并减少了传质过程[15]的难度，[16]。 使用QDs作为变色物质的动机来源于这种技术提供的令人兴奋的优势，如饱和颜色、可调谐发射、超小粒尺寸、基于溶液的工作性和高发光效率。 量子点可以与宏观尺寸的LED相结合，以产生一般的照明设备，而它们与微型LED和微型LED一起使用，可以分别创建显示背光单元和高分辨率自发射显示器[17][18]。 溶液处理的量子点可以通过使用几种技术，如旋转涂层[19]和喷墨打印[20]打印在不同尺寸的LED上。 气雾喷印和超级喷墨(SIJ)印刷都有.
关于量子点的一个关键问题是它们对温度和光照的稳定性。 用电驱动LED泵浦的量子点通常显示由氧化和热劣化引起的光致发光(PL)衰减。 这种类型的PL衰减变得更加严重，在较高的工作电流值时，LED被用作QDs的泵浦源，因为较高的电流对应于增强的加热效应。 文献中提出了许多克服这一关切的方法。 潜在的解决方案包括多核QD结构[22]、液体型包装[23]和钝化薄膜的使用。 使用薄膜沉积技术(如原子层沉积(ALD)沉积钝化层，可以有效地避免量子点的PL衰变[24]-[26]因为钝化膜通过去除QD层上的反应位点来最大限度地减少氧化现象，并使QDs抵抗热诱导的劣化。在本文中，我们报告了一个3英寸1的160×65μm2芯片大小的迷你LED。被称为SIJ打印机的印刷设备由SIJ技术有限公司购买，产品编号为SIJ-S050。
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