-
京瓷开发新技术，可将MicroLED制造成本减半
近日，据相关媒体报道，日本京瓷（Kyocera）开发了一种Micro LED制造新技术，通过硅衬底取代传统昂贵的蓝宝石衬底，将Micro LED成本降至一半以下。据悉，硅衬底GaN技术是目前Micro LED制造重要路线之一。相较传统的蓝宝石衬底GaN技术，硅衬底GaN技术在制程良率、晶圆成本、IC工艺兼容度等方面具有显著优势。而京瓷研发的新技术，具体而言是通过硅衬底上形成氮化镓层，并留出狭长的缝隙进行遮蔽，然后在氮化镓层上再次成膜，氮化镓层从缝隙中延伸到掩膜材料之上，将其剥离之后即可完成制作。
