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采用直接外延方法实现单片芯片集成一个HEMT和高调制带宽的单个MicroLED
摘要:可见光通信(VLC)需要具有高调制带宽的三氮化体可见微光发光二极管(MicroLED)。这样的MicroLED需要驱动在一个kA/cm2尺度上的高注入电流密度，大约是2个数量级 比正常的可见LED操作要高。MicroLED通常采用干法蚀刻技术制备，而干法蚀刻导致的损伤是不可避免的性能的大幅下降和生存能力的巨大挑战，在高注射电流密度。此外，传统的偏置(这是简单地应用在p−n结)是足够好的正常LED操作，但产生了一个巨大的挑战，单MicroLED，需要在高注入电流密度
