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  • 激光驱动型MicroLED巨量转移工艺

      显示技术发展至今,日益呈现出技术交叉化、多元化、应用综合化的发展,近年来,被视为新一代显示面板技术的Micro LED技术受到广泛关注。Micro LED是一种新的自发光显示技术,与OLED有许多共同之处,但相比传统LCD、OLED等,Micro LED 有着更大的优势,它有着功耗低、响应快、寿命长、光效率高等特点[1]  Micro LED的制造核心技术在于微缩制程技术和巨量转移技术,其中巨量转移的技术难点[2]有两个部分:  1)转移的仅仅是已经点亮的LED晶体外延层,并不转移原生基底,

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