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芯碁微装晶圆级封装直写光刻机交付给MicroLED等客户
今年9月，合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”）首台WLP2000晶圆级封装直写光刻机成功发运昆山龙头封测工厂。同月，另一台WLP2000直写光刻机发往成都Micro LED前沿研制单位交付。WLP2000晶圆级封装直写光刻机（图片来源：芯碁微装）据介绍，WLP2000是芯碁微装在晶圆级封装领域自主研发的具有自动再布线（RDL）功能的光刻设备，采用多光学引擎并行扫描技术，具备自动套刻、背部对准、智能纠偏、WEE/WEP功能。WLP2000采用最先进的数字光刻技术，无需掩模板，可直
