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密歇根大学优化绿色硅基MicroLED工艺，性能和稳定性得到提升
近期，密歇根大学宣布在MicroLED制造工艺上取得突破，这项新的工艺意味着你可以在硅上加入尺寸不到1微米的绿色LED，号称可实现高性能和高稳定性。据悉，这项研究的目的是提升超高分辨率彩色微显示器的制造工艺，以开发出适合AR/VR眼镜的MicroLED技术。据了解，AR/VR眼镜使用的MicroLED需要非常小巧、低功耗，且具有稳定性和高效性。另外，MicroLED单个像素尺寸小于1微米，制造工艺相当复杂，生产过程的缺陷率超过50%，而这将导致额外成本。而为了改善上述问题，科技行业已经投入了大量
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高稳定性量子点转换三合一全彩色小光发射二极管与低温原子层沉积
具有160×65μm2 MiniLED亚像素芯片尺寸的In发光二极管(LED)。蓝色MiniLED与红色和绿色量子点结合，实现了单片芯片形式的全彩和高质量的Mini LED阵列。随后，采用50◦℃下原子层沉积(ALD)低温钝化，有效避免光氧化，保持颜色纯度，99.5%的国家电视标准委员会(NTSC)和89.6%的89.6%的颜色纯度。2020年在50◦C/50%相对湿度(RH)条件下的300h可靠性测试中的红色和绿色QD(GQD)的色域。这两种样品的环境稳定性L50分别为6761和5889h。最
