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扩充业务产品线，中微公司推出12英寸薄膜沉积设备
近日，中微公司推出自主研发的12英寸低压化学气相沉积（LPCVD）设备Preforma Uniflex™CW。图片来源：中微公司据介绍，Preforma Uniflex™ CW可灵活配置多达五个双反应台反应腔（十个反应台），每个反应腔可以同时加工两片晶圆，在保证较低的生产成本和化学品消耗的同时，实现更高的生产效率。Preforma Uniflex™ CW配备了完全拥有自主知识产权的优化混气方案及加热台, 具有薄膜均一性、填充能力和工艺调节灵活性，对于弯曲度较大的晶圆，它也具备
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高稳定性量子点转换三合一全彩色小光发射二极管与低温原子层沉积
具有160×65μm2 MiniLED亚像素芯片尺寸的In发光二极管(LED)。蓝色MiniLED与红色和绿色量子点结合，实现了单片芯片形式的全彩和高质量的Mini LED阵列。随后，采用50◦℃下原子层沉积(ALD)低温钝化，有效避免光氧化，保持颜色纯度，99.5%的国家电视标准委员会(NTSC)和89.6%的89.6%的颜色纯度。2020年在50◦C/50%相对湿度(RH)条件下的300h可靠性测试中的红色和绿色QD(GQD)的色域。这两种样品的环境稳定性L50分别为6761和5889h。最
