1月14日，兆驰股份在投资者互动平台表示，公司用于氮化镓MiniLED芯片项目扩产的Prismo UniMax设备已于2022年中旬成功点亮，下半年产能逐渐放量，预计2023年上半年实现满产。
据悉，2022年3月，兆驰股份旗下兆驰半导体向中微公司全资子公司南昌中微采购52腔Prismo Unimax?MOCVD设备。同年5月27日，兆驰半导体研发中心新进Unimax设备经调试产出外延片成功点亮。
按照规划，此次扩产项目预计投产后氮化镓芯片月产能总规模可达110万片4英寸片，达产后预计氮化镓产能居行业前列。
而在此前，兆驰半导体拥有的100腔中微MOCVD（A7）已实现MiniLED外延片的量产生长能力，且波长一致性，亮度均匀性，抗静电能力等方面具备较高优势。
据了解，Prismo UniMax产品为中微公司于2021年6月发布的用于高性能MiniLED量产的MOCVD设备，该设备在同一系统中可配备多达4个反应腔，并配置了创新的多区温度补偿加热系统，具备优异的波长均匀性、重复性和稳定性。
其优化设计的喷淋头实现了更好的均匀性和产出稳定性、超大直径石墨托盘可大幅提升客户产能并降低成本。通过石墨盘晶片排布的最优化，Prismo UniMax的加工容量可以延伸至生长164片4英寸或72片6英寸晶片。
