Micro LED成为显示器产业众所瞩目的前瞻技术，且相关应用纷纷出炉。如今年智能显示展上，可以看到许多Micro LED产品亮相，如友达、群创、镎创等，皆纷纷展示其在Micro LED领域的布局成果；显现业界积极克服Micro LED既有技术障碍，走向量产目标的决心。
只不过，Micro LED若要量产，并降低生产成本的话，除了要更进一步强化巨量转移技术外，为确保Micro LED良率，也要改善检测与修复技术，因为检测与修复也是制程中不可或缺的关键步骤。然而，由于Micro LED产品使用的芯片数量众多，正确且快速地检测并修复巨量而细小的芯片，依然是一项艰巨挑战。
为了提升Micro LED检测效率，不少技术开发人员与设备制造商持续精进巨量检测技术；对此，安新精密已研发出失效分析准确定位的利器——热辐射显微镜EM系列，通过热能快速检测Micro LED产品缺陷。
以热能抓出缺陷，安新打造高效检测设备
安新精密董事长赖昱安表示，目前许多接触式检测，即是提高电压、电流，一旦发现产品哪边烧坏，就可得知哪里出了问题；不过，这种作法容易失真。因此，安新采用非接触式的做法，通过“热能”进行检测。因电子组件在电流通过后，于正常与缺陷之处两者会有所差异，常会以侦测能量（光和热）的方式判断异常。
（赖昱安–安新精密科技 董事长；图片来源：安新精密）
赖昱安解释，以能量侦测的方式通常有三种，分别是显微镜搭配特定波长传感器侦测（Photo emission）、以雷射激发产生阻抗变化（OBIRCH），以及侦测组件所放出的热辐射（Thermal emission）；而安新选用的是第三种方式。
赖昱安进一步说明，当物体高过绝对零度，就会发出辐射，通过量测体温的热像仪（或称红外线相机），和确认人是否发烧的原理一样，以用于检测IC与面板等电子组件是否有发烧。
（IC检测；图片来源：安新精密）
同时，随着制程进步，产品尺寸缩小，操作电压降低，产生的热也会跟着变化，更难以精准检测缺陷产生的热；因此需要搭配高放大倍率的热辐射显微镜。而安新EM系列即是整合高放大倍率的红外线相机，搭配讯号分析，能精确定位出缺陷位置。
赖昱安解释，红外线量测优点之一为非接触式，除了不会影响热表现，也不会干扰高频的量测结果。而安新与泓邦科技合作，采用泓邦科技旗下德国红外线相机- InfarTec，可随产品尺寸变化而使用不同倍率的镜头，达到理想的量测效果。特定型号相机每秒钟撷取1,000张的高速取样，若使用格放模式，更可高达每秒30,000张的能力，完整记录瞬间的温度变化，便于讯号处理与分析。
（MiniLED–低倍；图片来源：安新精密）
（MiniLED –高倍；图片来源：安新精密）
不仅如此，再通过安新的扫描技术，可实现超广视野，也就是得到广角且细腻的画面，适合应用于面板的大范围量测。经设定后，可自动移动并连续量测，拼接得到大面积且高解析的温度结果，最高分辨率达9600x7680；同时，通过精密的微偏移，也能够产生精致的影像，最高分辨率达6400x5120。
不仅如此，安新EM系列除了可自动控制量测，还搭配讯号处理技术，降低干扰噪声，找出瑕疵位置，使得影像判断更简单明了。
赖昱安说明，过往这些热辐射检测出来的结果，都是由人为判断，即交由有经验的工程师判读哪边有问题，而这需要较长一段训练时间；且红外线镜头不管等级再高，可以量测的仅是物体表面温度，无法穿透，所以一般在判读上就是以表面温度为凭据。不过，随着制程愈来愈复杂，人为判读也越来越困难，这也是安新使用讯号处理技术的原因。
赖昱安解释，讯号处理就是像传输数据时，要把noise排除掉一样；因为红外线量测有很多参数会影响到结果，如周遭环境、材料特性等因素。讯号处理则让量测后的结果能更容易用图形显示，并依据坐标提供准确的分析与位置；有了讯号处理，才可以看到产品内部深层、浅层的不同状况。除量测面板外，亦可应用于IC的失效分析，例如芯片内部短路或漏电等问题。
“我们提供一个简易使用的设备，降低量测门坎，建立标准化；由工具来协助判断，没有检测经验也能快速上手。”赖昱安说。
高整合EM设备助力，Micro LED检测难度再降低
（热辐射显微镜–EM系列机台；图片来源：安新精密）
综上所述，随着产品尺寸越来越小，单纯藉由温度分布差异，有时难以判断产品失效的状况，原先的设备更难精准检测缺陷产生的热；也因此，安新科技开发了热辐射显微镜EM系列，整合高灵敏相机与讯号处理技术，搭配轴控系统，实现自动对焦或拼接等功能，便于操作。且使用高灵敏的红外线相机，不须刻意提高电流或电压将组件烧毁才能找出问题。可在正常使用或更低负载的状况下判断出缺陷位置。
