11月1日,苏州市科学技术局发布《2021年度苏州市重点产业技术创新拟立项项目公示》(以下简称“《公示》”),公示期为2021年11月1日至11月7日。
《公示》包括前瞻性应用基础研究拟立项项目以及关键核心技术研发拟立项项目,涉及第三代半导体及Micro LED新型显示等项目。
其中,前瞻性应用基础研究拟立项项目中,包括用于MOCVD外延的氮化铝陶瓷复合衬底制备工艺的研发、基于第三代半导体材料的芯片封装集成散热技术研发、高可靠性高功率硅基氮化镓MIS-HEMTs功率器件研发等项目。
关键核心技术研发拟立项项目中,包括新型显示Micro LED外延与芯片关键核心技术研究、大功率LED器件制备及与激光照明的融合技术、高精度多功能AMOLED视觉检测装备研发及产业化、第三代半导体晶圆高端制程胶带的研发、半绝缘氮化镓单晶衬底产业化关键技术开发与应用、应用于5G移动通信等射频器件的碳化硅衬底氮化镓外延材料的研发等项目。