12月26日,天马新型显示技术研究院(厦门)有限公司(以下简称“天马新型显示技术研究院”)首台设备搬入仪式在福建省厦门市隆重举行,天马研发中心、非显业务部总经理、Micro LED研究院院长秦锋、副院长席克瑞、迈为股份新型显示事业部总经理王建民等领导出席了本次活动。
活动上,秦锋表示,天马Micro LED生产线的建设,顺应了时代发展的需求,是积极践行企业战略的举措。首台设备的顺利搬入,是项目上的重要里程碑,也是未来发展的新起点。为实现Micro LED产业化的目标,天马Micro LED项目团队将全力以赴,继续加强与合作伙伴的沟通与合作,共同推动Micro LED技术的发展。
天马研发中心、非显业务部总经理、Micro LED研究院院长秦锋
王建民对天马Micro LED产线首台设备的顺利搬入表示祝贺,并对天马Micro LED项目团队给予迈为的信任表示诚挚感谢,希望在后续的项目建设过程中,持续为天马优化服务,助力天马Micro LED产业化取得成功。
迈为股份新型显示事业部总经理王建民
携手向前,共创技术新纪元
此台搬入的设备为Micro LED巨量转移设备,由迈为股份自主研发、设计、制造,其采用激光巨量转移技术,利用特殊整形后的方形匀化光斑,结合高速度高精度振镜扫描,可以实现高效率及高品质的加工,将微米级Micro LED晶粒批量转移到目标基板上。
Micro LED巨量转移设备是Micro LED制程中的核心装备及高价值装备之一,是影响Micro LED良率与制造成本的关键。在前期的产品验证阶段,双方基于各自的专业领域携手合作,迈为从整线设备方案出发优化设备结构设计与激光工艺技术,天马新型显示技术研究院从芯片与胶材开发方面提升工艺窗口,最终成功实现大范围三色拼接转移验证,且转移后无明显尘粒(particle),落位精度及偏转角度均达到行业领先水平。今年6月30日,双方就此款设备达成了采购订单。
除Micro LED巨量转移之外,迈为还与天马新型显示技术研究院在激光剥离、激光键合设备及工艺领域协力开发,致力于共同开创基于TFT(薄膜晶体管)技术的Micro LED技术新纪元。
关于Micro LED及其巨量转移技术
Micro LED(即微间距LED)是一种新型显示技术,相比传统LCD、OLED显示屏,具有高亮度、高解析度、高对比度、宽色域和低功耗、寿命长等特点,并且可以沉积在各种基材,实现不同尺寸与形状的显示器,应用领域十分广泛,主要包括车载显示、智能穿戴(如:AR/VR/MR设备)、超大室内显示屏、车灯等,因而被视作未来显示技术的主流方向,市场空间巨大。
然而,由于Micro LED尺寸通常小于100μm,传统转移技术在转移效率、精度上难以达到要求,其设备已无法适配Micro LED转移制程。为解决这一难题,高难度的工艺——巨量转移技术应运而生。