近日，合肥欣奕华完成业内首台Micro LED接触式线路断路/短路（下称“OS”）缺陷检测设备量产并向业内头部企业交付。设备帮助客户实现了Micro LED新型显示面板生产良率的提升。

据介绍，合肥欣奕华此次量产交付的Micro LED OS检测设备，通过接触式检测可以对驱动电路基板的线路缺陷进行快速定位，在对产品没有损伤的前提下，可同时进行多达4000个点位测试，短路检出率高达100%，断路检出率高达99.5%以上。

此外，该设备通过细微线路缺陷检测技术，选用高精度微针、快速对位算法，以及适应多品类产品的缺陷检测工艺方法和规范化应用技术，可实现6-22英寸产品的无极兼容测试，单片产品测试时间可在55s以内完成。在需要切换产品种类时，该设备也可实现测试工艺的快速自动调整。

图片来源：合肥欣奕华

据悉，合肥欣奕华成立于2013年，由北京欣奕华科技有限公司控股，主营业务包括泛半导体产业工业机器人、智慧工厂解决方案，以及高端制造装备。公司可为客户提供Mini/Micro LED等检测设备，包括点灯AOI、外观AOI、断/短路检测设备等。

Micro LED设备厂商动态接连不断

近期，多家Micro LED设备制造商的动态引起了业界的关注。除了合肥欣奕华外，錼创、精测电子、大族半导体以及壹倍科技等企业在Micro LED设备领域也有了新的进展。

9月19日，精测电子Micro LED CT AOI检测设备顺利出机正式交付某省级实验室客户。其自主研发的晶圆外观检测设备主要采用显微光学方案针对晶圆的μm级外观缺陷进行检测及量测；同时可扩展到晶圆Bumping 3D量测及LED 3D量测应用。

壹倍科技于8月15日宣布，其自主研发与生产的Micro LED晶圆级AOI巨量检测设备顺利交付至Micro LED巨量转移领域头部客户。该设备能够在数分钟内检测Micro LED COW或COC晶圆上数千万颗芯粒的缺陷或位置量测，最小可检出亚微米级的缺陷和偏移。

錼创和大族半导体则是首次展出Micro LED巨量转移设备。

錼创在9月4-6日举办的SEMICON Taiwan半导体展中，首次公开展示Micro LED巨量转移设备。该设备重约十吨，可将六英寸晶圆上的RGB微型LED精准转移至不同尺寸的面板上，为Micro LED大尺寸应用提供了可能。

錼创日前还表示，公司对今年Micro LED产业的发展持乐观态度，预计通过增加销售设备业务，转移设备将贡献约10%-20%的营收，并将扩大开发欧美市场。

大族半导体于9月10-12日举办的CIOE中国光博会上，首次实体展出了全自动Micro LED巨量转移设备DM100-M0406B。该设备转移良率可达99.99%以上，可实现最小尺寸5μm，间距5μm的芯片加工，具有自动CCD校正、自动上下料等多种功能。

上述进展表明，Micro LED设备制造商正在不断推动技术的发展和应用的扩展，相关设备已获得客户的认可与使用。这些进展对于Micro LED行业的长期发展是一个积极的信号，预示着该技术在未来可能会在更多领域得到应用。