NEJ-PTG6H型喷印装备适用于量产线上G6H尺寸基板的TFE打印工艺,全自动控制,模块化配置,对接产线上下游设备,可满足量产线的高效生产需求。
●基板尺寸:1500*925mm
●基板厚度:0.4-1.5mm
●运动精度:≤±3μm
●打印精度:≤±10μm
●墨滴体积:3.5/6 pL(可选配)
●打印膜厚:4-20μm
●成膜均匀性:≥95%
●水氧含量控制:≤1ppm
●箱内洁净度控制:ISO3
●辅助设备:UV/TM/LL可选配
高效精密阵列化喷头
高精度气浮基板输送系统
高精度气浮运动系统
飞行墨滴精确测量
图案规划与智能调控
AOI缺陷检测
模块化成套配置
智能工艺系统
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